中国有光刻机,位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售 。正在进行其他各系列产品的研发制作工作 。
光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备 。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper , 获得比模板更小的曝光图样 。高端光刻机被称为“现代光学工业之花” , 制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造 。
【中国有光刻机吗 中国有光刻机吗有几台】
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