mems即微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内 。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统 。
【mems是什么意思 半导体mems是什么意思】
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