【晶圆是什么东西 晶圆和芯片的关系】1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片 , 其原始材料是硅 。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅 。硅晶棒在经过研磨 , 抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆 。
2、晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1 片或多片晶圆 。随着半导体特征尺寸越来越?。庸ぜ安饬可璞冈嚼丛较冉?使得晶圆加工出现了新的数据特点 。同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高 , 颗粒数也出现了新的数据特点 。
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