硅的气态氢化物是什么


硅的气态氢化物是什么

【硅的气态氢化物是什么】硅的气态氢化物被称为硅烷 。硅烷是一类化合物的统称,包括甲硅烷、乙硅烷以及其他更复杂的硅氢化合物 。其中,甲硅烷是最常用的硅烷类型,通常被简称为硅烷 。硅烷作为一种提供硅元素的气源,被广泛用于生产高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅和各种金属硅化物 。由于其高纯度和精确控制能力,硅烷已成为其他硅源无法替代的重要特种气体 。它广泛应用于微电子和光电子工业 , 用于制造太阳能电池、平板显示器、涂层玻璃和钢铁,并且是迄今为止世界上唯一大规模生产高纯度硅颗粒的中间产物 。

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