【什么是热电子效应】热电子效应是因为随着器件尺寸的缩?。缭吹缪刮薹ㄓ肫骷叽绨聪嗤壤跣?nbsp;， 导致MOS器件内部电场增强 。当MOS器件沟道中的电场强度超过100千伏每厘米时，电子在两次散射间获得的能量可能超过它在散射中失去的能量，从而使部分电子的能量明显高于热平衡时的平均动能，形成热电子 。这些高能量的热电子将严重影响MOS器件和电路的可靠性 。热电子效应主要表现在三个方面 ， 首先是热电子向栅氧化层中发射 ， 其次是热电子效应引起衬底电流，最后是热电子效应引起栅电流 。
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