【极限真空度是什么】极限真空度是指在容器内所能达到的最低压力,即容器内的气体分子数极少 , 几乎接近于零 。它是真空技术中的重要参数,常用于制造半导体器件、光学仪器等领域 。
实现极限真空度需要去除容器内的气体分子,通过连续的抽真空过程,使用真空泵系统将气体抽出 。随着抽气过程的进行,真空度逐渐提高,但到达一定阶段之后 , 达到极限真空度将变得困难 。
极限真空度受到多方面因素的影响 , 如外界气压、容器材料、泄露率等 。高纯度材料和密封性能良好的容器能够提高极限真空度 。然而,由于气体分子之间的相互作用 , 达到绝对真空是不可能的 。
极限真空度的提高对于一些特定的应用非常重要,例如半导体制造中的光刻机 。在光刻过程中,为了避免空气分子对光刻片的影响,需要将容器内的气体分子抽出,以实现更高的制造精度 。
总之,极限真空度是指容器内气体分子数极少的状态,是真空技术中的重要参数 。它受到多种因素的影响,对于一些特定领域的应用具有重要意义 。