没啥突出的优点|光刻机 10 万多个零件,有没有中国制造的零部件?
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我们都知道 , 荷兰不卖给我们最新极紫外光EUV光刻机 , 而且光刻机上有10万多个零部件 , 其中90%都是通过全球采购 , 当中涉及到近10个国家的数十家公司 , 下游客户的利益也与ASML捆绑 。
有人说:这里面到底有没有中国制造的零部件呢?如果有中国企业给ASML提供一些关键零部件 , 我们能不能对ASML进行断供 , 进而让ASML重新跟我们谈判呢?
一、EUV光刻机的零件是否有中国造不确定 , 但核心部件是没有的
先说下我的经历 , 目前在光刻机上面确实没看到过 , 或者供应商都是第三方的 , 上面也没写这个parts哪里生产的 。 但我曾亲眼所见 , 在组装的量测设备Yieldstar上见到过made in China的一个小散热风扇 。
允许我来抖个机灵 , 比如标准螺丝钉 , 譬如 M3x5;金属结构件(框架型材、外壳板等);外壳油漆;电路板 PCB 基板;部分基本元器件(电阻、电容、晶体管、简单逻辑芯片等);PCB 焊接组装服务等基础工业材料 , 哪怕是ASML恐怕也要是问中国买的 。
其实 , 我只想说:如果提供的不是重要部件 , 是不是你真没多大区别 。 再举个例子 , 我们生产的导热材料应用领域十分广泛 , 新能源汽车就是应用领域之一 , 可它的主要部件是三电 , 就算导热材料在电池包是不可或缺的散热小助手 , 但它并非核心部件 , 甚至可以说是个“配件” 。
也就是说 , 如果只是有一些极其低端的零件或者生产零件的原料可能是made in China , 然而这些东西都是很轻易就能找到替代厂商制造的 。 也许我们造出来比国外质量更好 , 但这与光刻机厂家会不会采购我们的零部件却是两个概念 。
在这种情况下 , 即使我们提供了中国造的零件 , 也根本无法对其进行断供的 。
二、目前EUV光刻机的核心零件都掌握在谁的手里呢?
要知道 , 一台EUV光刻机重达180吨 , 整机零部件加起来超过10万件 , 90%零部件都依赖进口 。
目前为止 , 阿斯麦的前17大供应商主要集中在欧洲、美国、日本及中国 , 其中美国占9家、占4家、日本占3家、德国占1家 。 比如光路系统来自德国蔡司公司、光源来自于美国Cymer、计量设备来自美国是德科技等 。
可以说 , 阿斯麦能有今天成就 , 靠的绝非一己之能 , 而是集之长 。 就算如此 , 由于EUV光刻机太复杂 , 目前全球能造出来的也就只有阿斯麦 。 在EUV光刻机领域 , 阿斯麦的市占率是100% , 独此一家 。
除此以外 , 一台高精度光刻机的组装调试就需要一年多 , 这还是阿斯麦自己提供的人 , 如果是第三方人员 , 时间翻不翻倍只是小问题 , 组装成功的可能性却是趋近于零 。
而且根据《瓦森纳协定》的限制 , 就算我们突破了技术 , 能够制造EUV光刻机 , 其核心零部件的进口也可能会受到限制的 。
一般来说 , 一块芯片的诞生大致可以分为设计、生产、封装三个步骤 。 首先将高纯度(99.999999999%)的单晶硅锭切割成不到一毫米厚的圆片 , 经过研磨抛光清洗后做成硅晶圆 。 接着经过材料制备、掩膜、光刻、刻蚀、清洗、掺杂、机械研磨等多个工序 , 然后进行后续的封装、测试等才能得到一个成品 。
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