佳能光刻机22纳米，光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备 。光刻机可以分钟两种，分别是模板和图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴芯片；第二是类似投影机原理的stepper ， 获得比模板更小的曝光图样 。
【佳能光刻机多少纳米】
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