文章插图
【通孔是什么?】在集成电路设计中，通孔是绝缘氧化物层中的一个小开口，允许不同层之间的导电连接，合包与分包（PAU）工艺被用于制备通孔阵列 。与其他双重曝光工艺不同 ， PAU工艺并不直接提供额外的图形分辨率 。图形分辨率只在第一次曝光时获得，第二次曝光只是在密集阵列中选择所需要的通孔 。
经验总结扩展阅读
- 冰淇淋萝卜是什么品种?
- 丹顶鹤的头顶是什么颜色的?
- 灯笼的种类?
- 古人以什么命名雄鸟?
- 勋宗是谁?
- 蜘蛛是益虫还是害虫?
- 落子是什么的俗称?
- 空气炸锅能煎蛋吗?
- 沐雪的含义是什么意思?
- 什么是有意注意?